在儀器未出現(xiàn)人為損壞的情況下，可以先從外部分析入手。

　　首先，對已知點進行排查，測站點與后視點的坐標是否正確，坐標點與實際位置是否一致。

　　其次，儀器的參數(shù)是否設(shè)置正確，包括棱鏡參數(shù)，溫度及氣壓，格網(wǎng)因子，儀器高棱鏡高等。

　　第三，儀器操作是否按照正確的方法與步驟進行。山西太原全站儀
　　第四，目標棱鏡桿是否居中垂直，如果是使用基座架設(shè)棱鏡則需檢查基座對中器及整平精度。

　　若以上經(jīng)查都沒有問題，則需檢查全站儀本身各項指標是否發(fā)生變化，包括儀器整平精度，對中器的精度，水平與垂直角度的準確性，儀器測距的精度，軸系誤差等。